第281章 滴膠

  民勤縣，西南側(cè)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園。

  春節(jié)期間還有很多人員留下來(lái)工作。

  其中海陸豐公司、民勤集團(tuán)、長(zhǎng)江存儲(chǔ)和幾家國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)組成的521實(shí)驗(yàn)室、522實(shí)驗(yàn)室、523實(shí)驗(yàn)室，不僅僅沒(méi)有放假，反而在過(guò)年期間，陸陸續(xù)續(xù)增加了很多科研人員過(guò)來(lái)。

  這三個(gè)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室目前有493名研究員，244名行政和后勤人員。

  521實(shí)驗(yàn)室的區(qū)域內(nèi)。

  通過(guò)冷凍電鏡和其他原子掃描設(shè)備的輔助，幾個(gè)研究員終于將密集的鍍銀硅納米管和一些實(shí)心的碳化硅管組合在一起。

  這些細(xì)微的鍍銀硅納米管被實(shí)心碳化硅納米管分割成為一個(gè)個(gè)特殊的圖案，這些圖案就是單層芯片結(jié)構(gòu)中的一部分，也是不需要光刻的那一部分。

  本質(zhì)上光刻工藝，就是通過(guò)極紫外光將一部分需要清除的光刻膠溶破壞掉，然后通過(guò)清洗，將被破壞的光刻膠去掉，最后采用蝕刻、沉積等工藝，將這些凹槽利用起來(lái)。

  當(dāng)然，實(shí)際操作起來(lái)，這些工藝會(huì)非常復(fù)雜，需要反復(fù)進(jìn)行光刻、蝕刻、沉積、擦洗幾十次，甚至幾百上千次都有可能。

  而此時(shí)這些研究員的目的，就是打算通過(guò)鍍銀硅納米管，解決國(guó)內(nèi)一直難以追趕西方的頂尖光刻機(jī)技術(shù)。

  “如何？”

  可以看到原子排列結(jié)構(gòu)的顯影設(shè)備，此時(shí)正在顯示出一個(gè)非常龐大的結(jié)構(gòu)畫(huà)面，負(fù)責(zé)檢查的研究員抬起頭來(lái)：“組長(zhǎng)，這一片滴膠印模已經(jīng)檢查完成，沒(méi)有發(fā)現(xiàn)排列錯(cuò)誤的結(jié)構(gòu)。”

  組長(zhǎng)葉瑾隨即吩咐道：“那就送去切割吧！”

  “好。”另一個(gè)研究員接手了切割工作。

  線切工作室內(nèi)，長(zhǎng)度為20厘米的滴膠印模被一點(diǎn)點(diǎn)切割，分割成為非常精確的1厘米厚度。

  這些1厘米厚度的滴膠印模板，就是滴膠工藝的核心部件。

  葉瑾和其他幾個(gè)小組長(zhǎng)討論著接下來(lái)的安排。

  “老劉，現(xiàn)在模板已經(jīng)做好了，我們開(kāi)始試驗(yàn)，你們硅片準(zhǔn)備好了？”

  老劉是一個(gè)地中海中年人，他笑著回道：“早就準(zhǔn)備好了，就等你們的模板。”

  “那就按照之前的安排，開(kāi)始進(jìn)行測(cè)試吧！希望一切順利。”葉瑾此時(shí)心里面也是非常忐忑。

  “別緊張，船到橋頭自然直。”老劉邊說(shuō)邊拿起文件夾，看著上面的一些資料：“522那邊的膠料已經(jīng)準(zhǔn)備好了？”

  說(shuō)話的人，是來(lái)自于國(guó)內(nèi)一家光刻膠企業(yè)的研究員：“那是自然，別小看我們，由于不需要考慮光刻處理，咱們只需要帶電的膠材料，這種要求可比光刻膠低了幾個(gè)量級(jí)。”

  當(dāng)然，實(shí)際的研究中，這種膠材料并沒(méi)有那么容易，但難度至少比光刻膠低很多，一番研究之后，522實(shí)驗(yàn)室就拿出了幾款比較適合的滴膠材料。

  老劉看著資料，頓時(shí)心里面有一種豪情萬(wàn)丈的感覺(jué)：“中微半導(dǎo)體的蝕刻機(jī)調(diào)試好了，現(xiàn)在萬(wàn)事俱備了，我們開(kāi)始吧！”

  “同意。”

  “也好，是騾子是馬，總要拉出來(lái)試一試。”

  “我感覺(jué)成功率應(yīng)該非常高。”

  “你小子倒是有信心，如果成功了，大家都要名垂青史了。”

  不一會(huì)。

  他們來(lái)到了負(fù)責(zé)測(cè)試的523實(shí)驗(yàn)室。

  隨著滴膠印模板插入滴膠機(jī)中，滴膠室內(nèi)的空氣已經(jīng)被抽空，替換成為不會(huì)和膠材料反應(yīng)，也不會(huì)發(fā)生電離反應(yīng)的高純度惰性氣體。

  同時(shí)除塵設(shè)備也持續(xù)運(yùn)行著，保持這個(gè)滴膠室內(nèi)的高度潔凈，避免灰塵被電離吸引，從而影響滴膠機(jī)的性能。

  純水清洗后的8寸硅片，經(jīng)過(guò)干燥之后，被機(jī)器送入滴膠機(jī)之中。

  滴膠機(jī)的模板也是圓形，還有一個(gè)剛剛好的卡槽，可以剛好可以和硅片對(duì)準(zhǔn)，保證硅片和模板被完全固定，避免滴膠模印過(guò)程中，出現(xiàn)細(xì)微的移動(dòng)。

  一個(gè)研究員表情非常緊張，手掌心都在冒汗，他顫抖著手指，輕輕按在啟動(dòng)開(kāi)關(guān)上。

  滴！

  通電之后的滴膠器，其滴膠模板將上面儲(chǔ)存器的膠液吸入，通過(guò)電磁加速讓帶電膠液快速?gòu)纳贤吕?br />
  剎那間，一滴滴細(xì)微的納米級(jí)膠滴，從模板下方滴落在硅片表面，這些膠滴很快就形成一個(gè)個(gè)滴點(diǎn)，而這些滴點(diǎn)彼此之間融合在一起，形成一道道紋路。

  隨即滴膠機(jī)斷電，僅僅滴落一滴膠液，剩下的膠液被管道裹挾著，根本滴落不下去。

  滴膠機(jī)離開(kāi)硅片上方，緊接著光固化設(shè)備向硅片表面發(fā)射出特定的紫外線，對(duì)膠滴圖案進(jìn)行光固化。

  葉瑾急不可耐地說(shuō)道：“快，看看圖案有沒(méi)有問(wèn)題。”

  老劉搖了搖頭：“葉博士別急呀！多做幾片，到時(shí)候一起送檢。”

  “好吧！”

  不到半個(gè)小時(shí)，滴膠室內(nèi)就連續(xù)生產(chǎn)了幾十片滴膠硅片。

  負(fù)責(zé)測(cè)試滴膠圖案的研究小組，也將一批批滴膠硅片送去實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)。

  所有人都不由自主地沉默下來(lái)，他們都在等待結(jié)果。

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